حساسات أشياء الموصلات والأجهزة الميكروكهروميكانيكية Semiconductor Sensors and Microeletromechanical Devices
حساسات أشياء الموصلات والأجهزة الميكروكهروميكانيكية : Semiconductor Sensors and Microeletromechanical Devices كثير من الطرق الحديثة لإنتاج الدوائر المتكاملة قد تبنت تصميمات لمستوي جديد من حساسات أشباه الموصلات والمشغلات الميكانيكية actuators أطلق عليها الاسم Microeletromechanical (MEM) devices أي الأجهزة الميكوكهروميكانيكية . في عام 1980 كان ظهور أول حساس MEM يستخدم تكنولوجيا الدوائر المتكاملة لطباعة السيليكون وإنتاج جهاز يستجيب للعجلة . وهو يتكون من كابولي من السيليكون silicon cantilever معه integral semiconductor strain gages . تتسبب العجلة في إنحراف الكابولي ( نتيجة قصورة الذاتي ) وتستشعر الـ strain gage قيمة العجلة . تم طبع القضيب والـ strain gage علي جزء واحد من السيلكون . يتم تصنيع الدوائر المتكاملة ICs عن طريق سلسلة من العمليات تشتمل علي : تكوين طبقات الطباعة الحجرية المقاومة للضوء photoresist lithographic layering وعملية التعرض للضوء light exposure والطباعة الكيميائية المحكومة controlled chemicd etching وعملية ترسيب البخار vapor deposition وعملية الغمس (إضافة الشوائب) dop...